特許

J-GLOBAL ID：200903036395268040

蒸気発生方法及びその装置

発明者： 小美野 光明 ,  内澤 修
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  株式会社本山製作所
代理人 (1件)： 中本 菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-130244
公開番号（公開出願番号）：特開平11-028349
出願日： 1998年05月13日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：

【要約】【課題】 少ない制御因子により容易にガスを生成することができると共に、ガスの生成量の増大及び蒸気生成時間の短縮を図れるようにすること。【解決手段】 蒸気媒体用の気体の流入口50aと流出口50bを有し、流入口50aから流出口50bに向かって狭小テーパ状の先細ノズル部51aと、この先細ノズル部51aから流出口50bに向かって拡開テーパ状の末広ノズル部51cとからなる中細ノズル50と、中細ノズル50の末広ノズル部51cに開口するIPA供給口54と、末広ノズル部51c及びIPA供給口54の近傍あるいはその下流側に配設される内筒ヒータ55及び外筒ヒータ56とで蒸気発生装置を構成する。

請求項（抜粋）：

蒸気媒体用の気体の流速を音速まで加速すると共に増速する工程と、この増速された気体中に被蒸気液を供給して、突発的に衝撃波を発生させる工程と、発生させた衝撃波のエネルギを利用して前記被蒸気液を霧状にする工程と、を有することを特徴とする蒸気発生方法。

IPC (6件)：

B01J 7/02 ,  B05B 1/02 ,  C23C 16/44 ,  F22B 27/00 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/304 361

FI (6件)：

B01J 7/02 Z ,  B05B 1/02 ,  C23C 16/44 C ,  F22B 27/00 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/304 361 V

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 噴霧装置および噴霧方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-014497   出願人：エルハナン・タヴォル