特許

J-GLOBAL ID：200903036398713290

機械式インターフエース装置

発明者： 河野 等 ,  奥野 敦 ,  津田 正徳 ,  林 満弘 ,  山下 哲平 ,  村田 正直 ,  田中 幹 ,  森田 日也
出願人/特許権者： 神鋼電機株式会社
代理人 (1件)： 小林 傅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-269774
公開番号（公開出願番号）：特開平5-109867
出願日： 1991年10月17日
公開日（公表日）： 1993年04月30日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 空ポッドの一時保管機能を有し、外部装置に頼ることなく空ポッドの一時保管が可能で、複数のウエハカセット分のウエハを一括処理するのに極めて好適な機械式インターフェース装置を提供する。【構成】 ポートプレート3A、B上に載置されて被処理物の搬入・搬出用ポート4A、Bを覆うポッド101A〜104B、ポッドの開口を閉鎖可能なポッドドア、本体ケース内に昇降可能に支持され最上昇時にポートプレートに係合してポートを閉鎖するポートドア31A、31B、ポートドアがポッドドアを搬送する機械式インターフェース装置において、装置ケース1が、ポッド搬入・搬出空間1Bに連続する空ポッド一時保管空間1Cを有すると共に両空間内に空ポッド移載機構50A、B、52、60、61A、Bが収納される。空ポッド移載機構は、ポッド搬入・搬出空間に面しているポートプレート上の空ポットを空ポッド一時保管空間内の所定位置へ、またその逆に移載する。

請求項（抜粋）：

装置ケースに設けられ被処理物の搬入・搬出用ポートを形成するポートプレート上に載置されて前記ポートを覆うポッド、このポッドの開口を閉鎖可能なポッドドア、前記本体ケース内に昇降可能に支持され最上昇時に上記ポートプレートに係合して前記ポートを閉鎖するポートドア、このポートドアが上記ポッドドアを上記ポッド内から本体ケースへまたその逆へ搬送する機械式インターフェース装置において、上記装置ケースが、ポッド搬入・搬出空間に連続する空ポッド一時保管空間を有するとともに両空間内に空ポッド移載機構が収納され、該空ポッド移載機構は、上記ポッド搬入・搬出空間に面している上記ポートプレート上の空ポットを上記空ポッド一時保管空間内の所定位置へ、またその逆に移載することを特徴とする機械式インターフェース装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B65D 81/20 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/31