特許
J-GLOBAL ID：200903036406596141
塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルタの製造装置およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長門 侃二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-006745
公開番号（公開出願番号）：特開平9-192567
出願日： 1996年01月18日
公開日（公表日）： 1997年07月29日
要約：
【要約】【課題】 ステージ上から破損を招くことなく、塗膜が形成されたガラス基板を容易に取り外し可能な塗布装置および塗布方法並びにこれら装置および方法を用いたカラーフィルタの製造装置および製造方法を提供する。【解決手段】 カラーフィルタの製造に用いられる塗布方法を実施する塗布装置は、ステージ6上面に分布された多数の吸引孔66と、ステージ6内に形成され、吸引孔66が連通するチャンバ68と、チャンバ68に負圧および正圧を選択的に供給する負圧源74および正圧源80と、ステージ6の上面から突出可能な複数のリフトピン84とを備えており、これらリフトピン84は左右に振り分けて配置され、左右のリフトピン毎に独立して突出可能である。
請求項（抜粋）：
塗布液を供給する供給手段と、前記供給手段から塗布液の供給を受け、一方向に延びる吐出口から塗布液を吐出可能な塗布器と、被塗布部材を載置可能なステージと、前記ステージの表面に載置された被塗布部材を前記ステージに吸着させる吸着手段と、前記塗布器および前記ステージの少なくとも一方を相対的に移動させ、前記被塗布部材の表面に塗布液の塗膜を形成させる移動手段と、前記ステージに対する前記被塗布部材の吸着を解放する解放手段とを具備する塗布装置において、前記吸着手段は、前記ステージの表面に分布された多数の吸引孔と、前記吸引孔に連通する少なくとも1個のチャンバと、前記チャンバに負圧を選択的に供給する負圧源とを備えており、前記解放手段は、前記チャンバに正圧を選択的に供給する正圧源と、前記ステージの表面に出没可能に設けられ、前記ステージの表面から突出したときには前記被塗布部材を前記ステージの表面から離間させるリフトピンとを備えていることを特徴とする塗布装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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