特許
J-GLOBAL ID：200903036411553574
マスフローコントローラ流量検定システム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富澤 孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-124319
公開番号（公開出願番号）：特開平7-306084
出願日： 1994年05月12日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：
【要約】【目的】 配管中に組み込んだままの状態でのマスフローコントローラの流量計測精度の検定を容易に可能としたマスフローコントローラ流量検定システムを提供すること。【構成】 マスフローコントローラ絶対流量検定システムは、第1開閉弁15とマスフローコントローラ11との間のマスフローコントローラ入口配管16上にあって、計測用ガスライン12と、計測用ガスライン12とマスフローコントローラ入口配管16との間で管路を開閉するパージ弁14と、マスフローコントローラ11の入口側の圧力を計測する圧力センサ13とを有する。プロセスガスの供給を第1開閉弁15により遮断した後、計測用ガスを導入し、パージ弁14を閉じて圧力を低下させる。圧力低下速度が一定である期間の開始時と終了時との圧力とその所要時間とから、マスフローコントローラ11の流量を検定する。
請求項（抜粋）：
プロセスガス源から第1遮断弁およびマスフローコントローラを順次経由してプロセスチャンバにプロセスガスを供給するガス配管系において、計測用ガスを供給する計測用ガス源と、入口側が前記計測用ガス源に接続し、出口側が前記ガス配管系の前記マスフローコントローラの入口側に接続するパージ弁と、前記パージ弁の出口側の圧力を計測する圧力計と、前記圧力計の指示値を一定の時間間隔でモニタするモニタリング手段とを有し、前記マスフローコントローラへの前記プロセスガスの供給を前記第1遮断弁により遮断し、前記パージ弁を開いて前記圧力計の指示値を所定の圧力にした後パージ弁を閉じて圧力を低下させ、前記圧力計の指示値が一定速度で低下する検定期間を前記モニタリング手段のモニタ結果より決定し、前記検定期間の開始時の圧力と、検定期間の終了時の圧力と、前記開始時から前記終了時に至るまでの所要時間とによりマスフローコントローラの計測精度を検定することを特徴とするマスフローコントローラ流量検定システム。
IPC (2件)：
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