特許
J-GLOBAL ID：200903036411789527
電子噴霧イオン化質量分析方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-246204
公開番号（公開出願番号）：特開2005-070052
出願日： 2004年08月26日
公開日（公表日）： 2005年03月17日
要約：
【課題】 電子噴霧イオン化質量分析器を利用して、試料と反応せずにイオン化を容易にするための方法を提供する。【解決手段】塩を添加剤として使って、極性溶媒内で非電荷性、非塩基性および低極性である試料を分析する段階を含むことを特徴とする電子噴霧イオン化質量分析方法である。これにより、混合物状態である前駆体の組成分析を可能にすることで、例えば低誘電薄膜素材であるシリコン化合物の工程適用の前の前駆体の初期薄膜品質および安定性を予測でき、測定感度が改善されて分析の時に必要な試料の量も数μgになり、また分子内の特定の作用基がなくても分子量測定が可能なので、より効率的に改善された質量分析方法を提供できる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
塩を添加剤として使って極性溶媒内で、非電荷性、非塩基性および低極性である試料を分析する段階を含むことを特徴とする電子噴霧イオン化質量分析方法。
IPC (1件)：
FI (2件)：
G01N27/62 V
, G01N27/62 F
