特許
J-GLOBAL ID：200903036416465835
圧電型圧力センサ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松田 正道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-257109
公開番号（公開出願番号）：特開平7-113713
出願日： 1993年10月14日
公開日（公表日）： 1995年05月02日
要約：
【要約】【目的】管状ダイアフラムと燃焼室の隔離を強化し、センサの熱的安定性を向上させること。【構成】長い台座を用いて、管状ダイアフラムを燃焼室から遠ざけ、管状ダイアフラムへの燃焼熱の影響を低減させる。そのために、直径の大きな管状ダイアフラム26を用い、その内側に圧力伝達部材29、圧電素子17等を配設することにより、センサ全体の大きさを従来のセンサと同じ保ちながら、熱的に安定したセンサを実現する。
請求項（抜粋）：
先端に受圧面を有する外部筺体と、前記受圧面に印加された圧力を歪に変換する管状ダイアフラムと、前記受圧面の裏面に面接触しかつ前記管状ダイアフラムが固定された台座と、前記台座の受圧面側と反対の面に当接し圧力を伝達する圧力伝達部材と、前記圧力伝達部材に対して前記台座と反対側に位置する圧電素子とを備え、前記圧力伝達部材と前記圧電素子に対し軸方向の圧縮荷重で固定する圧力センサであって、前記管状ダイアフラムの内側に前記圧電素子と前記圧力伝達部材が配置されている事を特徴とする圧電型圧力センサ。
IPC (3件)：
G01L 23/10
, G01L 9/08
, G01L 19/04
