平板表示装置およびその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：服部雅紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-097389
公開番号（公開出願番号）：特開平7-015017
出願日： 1994年05月11日
公開日（公表日）： 1995年01月17日
要約：

【要約】【目的】高誘電率およびリーク特性が優秀なゲート絶縁膜を有する平板表示装置およびその製造方法を提供する。【構成】基板100上に1000〜10000Å程度の厚さでアルミニウム(Al)またはアルミニウム合金を形成した後パタニングして第1金属層102、102’を形成する。次に第2金属層として例えばタンタル(Ta)またはタンタル合金を第1金属層102、102’が形成された基板の全面に堆積させ、続けて基板100を陽極酸化溶液の中に入れ前記形成された第2金属層の厚さの50〜98%程度まで低電圧で全体的に均一に陽極酸化を実施する。次に高電圧で第2金属層および第1金属層102の陽極酸化を実施するが、この際第2金属層を通じて基板全体に電流が供給されるので第2金属層は基板全表面でとても均一に陽極酸化され、第2陽極酸化膜108を形成し、第1金属層102は部分陽極酸化され第1陽極酸化膜104を形成する。

請求項（抜粋）：

透明基板と、前記透明基板上に形成された複数のゲート配線群と、前記複数のゲート配線群と交差するように配置された複数の信号配線群と、前記各ゲート配線群と各信号配線群の交点に隣接して配置されたスイッチング素子群より構成され、前記スイッチング素子群はアルミニウムまたはアルミニウム合金から構成されたゲート電極、前記スイッチング素子群のチャネルと前記ゲート電極の間に介し、アルミニウムまたはアルミニウム合金より構成された第1陽極酸化膜およびタンタルまたはタンタル合金より構成された第2陽極酸化膜からなるゲート絶縁膜を具備することを特徴とする平板表示装置。

IPC (5件)：

H01L 29/786 , G02F 1/136 500 , H01L 21/316 , H01L 27/04 , H01L 21/822

FI (2件)：

H01L 29/78 311 G , H01L 27/04 C

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