振動子の製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：滝本智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-140237
公開番号（公開出願番号）：特開平8-335839
出願日： 1995年06月07日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：

【要約】【目的】本発明は水晶等の振動子の製造方法に関し、発振周波数の長期安定化を図るための製造方法に関するものである。【構成】振動板1と第1のカバー3を直接接合し、第1のカバー3に設けられた貫通穴4,5の内面およびその周囲に導通電極18を形成し、振動板1に形成された励振用電極10,11との電気的接続をして第2のカバー2を直接接合してパッケージをする。この後、NiまたはZnを下層に半田を上層にした積層膜からなる封止電極6,7を蒸着またはスパッタリングで形成し、容器内を真空状態にし気密封止を行う。

請求項（抜粋）：

舌片状の振動部を有した振動板の表、裏面には励振用電極を形成し、これらの表、裏面の励振用電極からはそれぞれ振動部の根元部分を介してリード電極を引き出し、これら表、裏面のリード電極の一方は第1の接続部を形成し、他方のリード電極は前記一方のリード電極側に貫通後第2の接続部を形成し、水晶またはガラスからなりかつ貫通穴を設けた第1のカバーと前記振動板は舌片状の振動部の外周部で接合し、前記第1、第2の接続部は第1のカバーに設けた貫通穴を介して貫通穴の内面および貫通穴の周囲に形成した導通電極に電気的に接続し、水晶またはガラスからなる第2のカバーと前記振動板は第1のカバーとは反対面に舌片状の振動部の外周部で接合してパッケージとし、第1のカバーの貫通穴の内面および貫通穴の周囲に半田を主とする積層膜を蒸着またはスパッタリングにより形成して封止電極とし、気密封止する振動子の製造方法。

IPC (3件)：

H03H 3/02 , H03H 9/02 , H03H 9/19

FI (3件)：

H03H 3/02 B , H03H 9/02 M , H03H 9/19 A

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