特許
J-GLOBAL ID：200903036434053811
試料高さ計測装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-160615
公開番号（公開出願番号）：特開平6-003115
出願日： 1992年06月19日
公開日（公表日）： 1994年01月11日
要約：
【要約】【構成】校正においては斜面を持つ標準段差501、あるいは、3面以上の基準面を用意し、標準段差501を用いて位置検出器出力と試料高さとの関係を求め、これを複数の一次式、あるいは二次以上の多項式で近似する。【効果】高さ計測装置の非直線性を考慮した校正方法であるので、高精度な高さ計測が可能となる。
請求項（抜粋）：
光を試料に照射し、その反射光の位置から前記試料の高さを求める高さ計測装置において、高さの異なる2組の基準面と斜面を用いて校正することを特徴とする試料高さ計測装置。
IPC (2件)：
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