特許

J-GLOBAL ID：200903036437033587

インクジェット記録ヘッド用ノズル板の製造方法並びにインクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置

発明者： 大熊 典夫 ,  土井 健 ,  村上 修一 ,  小室 博和 ,  横井 英人 ,  藤川 孝
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-159362
公開番号（公開出願番号）：特開平9-001808
出願日： 1995年06月26日
公開日（公表日）： 1997年01月07日
要約：

【要約】【目的】 インクジェット記録ヘッド用ノズル板を、ノズル密度に関係なく任意の厚さで且つ安価に製造でき、さらに撥水処理も容易に行える製造方法を提供する。【構成】 次の各工程の結合からなるインクジェット記録ヘッド用ノズル板の製造方法。(a)金属基板上に樹脂層を形成する第1工程。(b)前記樹脂層をエキシマレーザーによってパターニングし、前記金属基板を部分的に露出させる第2工程。(c)前記金属基板の露出部表面上に金属層を形成する第3工程。(d)前記金属層を、金属基板および樹脂層から分離する第4工程。

請求項（抜粋）：

少なくとも次の各工程の結合からなるインクジェット記録ヘッド用ノズル板の製造方法。(a)金属基板上に樹脂層を形成する第1工程。(b)前記樹脂層をエキシマレーザーによってパターニングし、前記金属基板を部分的に露出させる第2工程。(c)前記金属基板の露出部表面上に金属層を形成する第3工程。(d)前記金属層を、金属基板および樹脂層から分離する第4工程。

IPC (3件)：

B41J 2/135 ,  B41J 2/01 ,  B41J 2/05

FI (3件)：

B41J 3/04 103 N ,  B41J 3/04 101 Z ,  B41J 3/04 103 B