特許
J-GLOBAL ID：200903036443855521
基板の位置合わせ方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-244676
公開番号（公開出願番号）：特開平6-097033
出願日： 1992年09月14日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：
【要約】【目的】 マスク等基板の交換に伴って変動するマーク位置を検出するシーケンスの最適化を自動的に行い、基板の位置合わせ時間の短縮をはかる。【構成】 基板の交換たびに行われる位置決め後毎に、マークが位置決め終了後の位置に対して変位量がどの程度であったかを記録し(ステップ110)、一時待期位置が同一の基板について(ステップ100)、位置合わせのために基板を移動する方向及び量を決定するために記録したデータの統計処理を行う(ステップ111)。この統計処理した移動方向及び量に基づいて基板を移動させる(ステップ112、113、114、115)。マークが見つかるとマークの位置合わせを行ない(ステップ109)、位置合わせ完了後のホルダー座標を原点として初期座標値を変換し、記憶する(ステップ110)。
請求項（抜粋）：
位置決めマークを有する基板を基板一時待期場所から保持部材上に受け渡した後、前記保持部材を所定の方向に移動させることにより、前記マークをマーク検出装置によりサーチし、前記マーク検出装置が前記マークを検出した後、前記マーク検出装置の基準位置に前記マークを位置合わせする方法において、同一の前記基板一時待期場所から前記保持部材に受け渡された基板について、前記保持部材に受け渡された際の前記基準位置に対する前記マークの位置を記憶し、その記憶した位置情報に基づいて、前記同一の前記基板一時待期場所から新たに前記保持部材に受け渡された基板のマークのサーチ方向を設定することを特徴とする基板の位置合わせ方法。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 9/00
, H01L 21/68
