特許
J-GLOBAL ID:200903036448313158
樹脂の製造方法、樹脂、レジスト組成物、レジストパターン形成方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (5件):
棚井 澄雄
, 志賀 正武
, 青山 正和
, 鈴木 三義
, 柳井 則子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-345719
公開番号(公開出願番号):特開2004-175981
出願日: 2002年11月28日
公開日(公表日): 2004年06月24日
要約:
【課題】LERの小さいレジストパターンを形成可能なレジスト組成物に好適に使用される樹脂の製造方法、該製造方法により製造される樹脂、該樹脂を含有するレジスト組成物、該レジスト組成物を用いたレジストパターン形成方法を提供すること。【解決手段】少なくとも、(a’1)ラクトン単位を有する(メタ)アクリル酸エステルと、(a’2)酸解離性溶解抑制基を有する(メタ)アクリル酸エステルとを含有するモノマー混合物を、炭素数5又は6の環状ケトン、及び置換基を有する単環又は二環式の芳香族化合物からなる群から選択される重合溶媒に溶解し、重合開始剤を用いて重合させることによって、酸の作用によりアルカリ溶解性が増大する樹脂を製造する。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
少なくとも、(a’1)ラクトン単位を有する(メタ)アクリル酸エステルと、(a’2)酸解離性溶解抑制基を有する(メタ)アクリル酸エステルとを含有するモノマー混合物を、重合溶媒に溶解し、重合開始剤を用いて重合させることによって、(A)酸の作用によりアルカリ溶解性が増大する樹脂を製造する方法であって、
前記重合溶媒として、炭素数5又は6の環状ケトン、及び置換基を有する単環又は二環式の芳香族化合物からなる群から選択される溶剤を単独で又は混合して用いることを特徴とする、酸の作用によりアルカリ溶解性が増大する樹脂の製造方法。
IPC (4件):
C08F2/06
, C08F220/26
, G03F7/039
, H01L21/027
FI (4件):
C08F2/06
, C08F220/26
, G03F7/039 601
, H01L21/30 502R
Fターム (38件):
2H025AA03
, 2H025AB16
, 2H025AC04
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BE10
, 2H025BG00
, 2H025CB08
, 2H025CB14
, 2H025CB41
, 2H025FA17
, 4J011HA03
, 4J011HA05
, 4J011HA06
, 4J011HB22
, 4J100AL08P
, 4J100AL08Q
, 4J100AL08R
, 4J100AL08S
, 4J100BA03R
, 4J100BA20Q
, 4J100BC07Q
, 4J100BC08P
, 4J100BC08Q
, 4J100BC09Q
, 4J100BC09R
, 4J100BC09S
, 4J100BC12S
, 4J100BC53P
, 4J100CA05
, 4J100CA06
, 4J100DA01
, 4J100EA01
, 4J100FA03
, 4J100FA10
, 4J100FA30
, 4J100JA37
引用特許:
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