低濃度における粒子サイズを測定するための方法および装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西教圭一郎 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-514172
公開番号（公開出願番号）：特表平11-514437
出願日： 1996年10月04日
公開日（公表日）： 1999年12月07日
要約：

【要約】流体中に懸濁する超微小粒子(111)の粒子サイズを測定するための改良された方法について述べられている。レーザー光(121)は粒子によって散乱し、散乱光(122)は光検出装置(131)によって受光され、該検出装置が散乱光(122)の強度を表す測定電気信号(Sm)を与える。本発明によれば、比較的低い特性周波数の信号成分が測定電気信号(Sm)から除去され、このようにして補正された測定信号(Sc)に基づいて粒子サイズが計算され、したがって粒子(111)の濃度が非常に低い場合においても信頼できる結果が得られる。

請求項（抜粋）：

流体中に懸濁している超微細粒子(111)のサイズを測定するための方法であって、測定量体は干渉性光ビームに照射され、好適にはレーザー光ビーム(121)に照射され、それによって該光は測定量体中の粒子(111)によって散乱し、あらかじめ定められた方向(α)に測定量体から散乱する測定光(122)の強度から、該強度を表す測定電気信号(Sm)が得られる方法において、該測定電気信号(Sm)から、比較的低い特性周波数の信号成分を除くことによって補正された測定電気信号(Sc)が得られ、粒子のサイズの計算が該補正された測定電気信号(Sc)に基づいて行われることを特徴とする方法。

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開昭61-028866
特開平2-193043
特表平2-502482

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審査官引用 (6件)

特開昭61-028866
特開平2-193043
特表平2-502482

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