特許

J-GLOBAL ID：200903036452372975

超純水の製造法

発明者： 古川 征弘
出願人/特許権者： 栗田工業株式会社
代理人 (1件)： 重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-239287
公開番号（公開出願番号）：特開平6-086976
出願日： 1992年09月08日
公開日（公表日）： 1994年03月29日
要約：

【要約】【目的】 二次純水製造工程における非再生混床式イオン交換装置からリークするNa+ イオンを低減し、高純度の超純水を安定かつ効率的に製造する。【構成】 一次純水を強酸性カチオン交換樹脂と強塩基性アニオン交換樹脂の混床23に通した後、強酸性カチオン交換樹脂の単床22に通す。【効果】 前段の混床のイオン交換樹脂の再生不良によるR-Naの加水分解でリークするNa+ イオンや混床のイオン交換樹脂の再生後の洗浄不足によりリークするNaOHが、混床の後段に設けられた強酸性カチオン交換樹脂の単床におけるイオン交換で除去される。このため、Na濃度10ppt以下といった高水質の純水を安定に製造することができる。

請求項（抜粋）：

一次純水を強酸性カチオン交換樹脂と強塩基性アニオン交換樹脂との混床に通した後、強酸性カチオン交換樹脂の単床に通すことを特徴とする超純水の製造法。