特許

J-GLOBAL ID：200903036462327099

ウェーハ研磨装置

発明者： ミハイル ツーゾフ
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-022141
公開番号（公開出願番号）：特開2002-231663
出願日： 2001年01月30日
公開日（公表日）： 2002年08月16日
要約：

【要約】【課題】本発明は、研磨パッドの回転数、研磨パッドに対する押付部材の押圧力、及び研磨パッドの種類の変更に1台のウェーハ研磨装置で対応することができるウェーハ研磨装置を提供する。【解決手段】本発明のウェーハ研磨装置10の押付部材16、18は、位置決め機構82、90を介して保持ヘッド14に対する押付部材16、18の位置を微調整できるように設けられる。これにより、加工条件である研磨パッド20の回転数、研磨パッド20に対する押付部材16、18の押圧力、及び研磨パッドの種類に応じて、ウェーハ30のエッジ30が過剰に研磨されない最適な位置に押付部材16、18を位置決め機構82、90によって適宜配置する。

請求項（抜粋）：

ウェーハを保持ヘッドに保持し、移動する研磨パッドに押し付けてウェーハの表面を研磨するウェーハ研磨装置において、前記保持ヘッドの周囲に前記研磨パッドに押し付けられる複数の押付部材が配置されるとともに、該複数の押付部材を前記保持ヘッドに対して位置調整する位置調整手段が設けられたことを特徴とするウェーハ研磨装置。

IPC (4件)：

H01L 21/304 621 ,  H01L 21/304 622 ,  B24B 37/00 ,  B24B 37/04

FI (4件)：

H01L 21/304 621 D ,  H01L 21/304 622 G ,  B24B 37/00 B ,  B24B 37/04 E

Fターム (11件)：

3C058AA09 ,  3C058AA12 ,  3C058AA13 ,  3C058AB04 ,  3C058AC04 ,  3C058BA02 ,  3C058BA05 ,  3C058BA07 ,  3C058BB04 ,  3C058CB02 ,  3C058DA17