特許
J-GLOBAL ID：200903036465939087
電子線応用装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-091059
公開番号（公開出願番号）：特開平6-302503
出願日： 1993年04月19日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：
【要約】【目的】信号検出系を含めた電子鏡筒を小型化する。【構成】電子検出器と静電光学素子を一体化する。【効果】レンズと試料面との距離が短くなり、高輝度な電子光学系を得ることが出来る。
請求項（抜粋）：
静電の電子光学素子が電子検出素子の支持体を兼ねることを特徴とする電子線応用装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, H01J 37/12
, H01J 37/244
