特許
J-GLOBAL ID：200903036465945184

アウタリ-ドボンディング装置および方法

発明者：
飯田 峰昭

飯田 峰昭 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-144715
公開番号（公開出願番号）：特開平7-007044
出願日： 1993年06月16日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：
【要約】【目的】 TCP部品のアウタリ-ドボンディングを良好に行うことができるアウタリ-ドボンディング装置を提供することを目的とするものである。【構成】 吸着ノズル15に吸着保持されたTCP部品1のアウタリ-ド3の下面を検出し、最も低く位置するアウタリ-ド3の高さを検出する工程(図1(a))と、検出されたアウタリ-ド3の高さに基づいて、上記吸着ノズル15を上昇駆動し、すべてのアウタリ-ド3の上面を加熱チップ17の下端面17aに当接させる工程(b)と、上記吸着ノズル15と加熱チップ17を一体的に下降駆動し、上記TCP部品1のアウタリ-ド3を上記プリント基板6に設けられた配線パタ-ン7に加圧しつつ加熱することでこのアウタリ-ド3を上記配線パタ-ン7に接続する工程(c)とからなるものである。
請求項（抜粋）：
TCP部品を吸着保持する吸着ノズルと、下端面で上記TCP部品のアウタリ-ドを基板に設けられた配線パタ-ンに加圧、加熱し、この配線パタ-ンに接合するボンディングツ-ルとを具備するアウタリ-ドボンディング装置において、上記吸着ノズルを上下駆動する吸着ノズル駆動手段と、上記ボンディングツ-ルを上下駆動するボンディングツ-ル駆動手段と、上記吸着ノズルに保持されたTCP部品のリ-ドを検出し、上記ボンディングツ-ルの下端面と上記リ-ドのこのボンディングツ-ルの下端面が当接される面とを当接させるのに必要な上記ボンディングツ-ルと吸着ノズルの相対的駆動量を求めるアウタリ-ド検出手段とを具備することを特徴とするアウタリ-ドボンディング装置。
IPC (4件)：
H01L 21/60 311 ,  H01L 21/60 ,  H01L 23/50 ,  H05K 3/34
引用特許：
出願人引用 (5件)
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