特許
J-GLOBAL ID：200903036466281905
特定ガスの供給制御装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-255414
公開番号（公開出願番号）：特開平7-111247
出願日： 1993年10月13日
公開日（公表日）： 1995年04月25日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、時系列的に作動する複数の電磁弁に応動する複数のガス圧作動弁を有する場合、各ガス圧作動弁の開閉状態に応じて流れる特定ガスの供給状態の切り換えのタイミングを高精度で行える等とした特定ガスの供給制御装置を提供することを目的とする。【構成】 複数の電磁弁4A〜4Eにおける夫々の弁体部4ao〜4eoと、各ガス圧作動弁8A〜4Eの駆動部8ai〜8eiとの間に接続され、各駆動部8ai〜8eiを駆動するための作動ガスを流すための複数のガスチューブ9a〜9eを、各ガス圧作動弁の作動時間に応じて、夫々の内容積が設定される。【効果】 一の特定ガスの供給状態から他の特定ガスの供給状態への切り換えの際、両特定ガスの混合供給状態を回避し、該切り換えのタイミング制御を精度良く行うことができる。
請求項（抜粋）：
所定の制御信号に応じて開閉状態となる複数の電磁弁と、該複数の電磁弁の夫々の開閉状態に作動ガスを介して応動させる駆動部を有し該駆動部に応じて夫々が開閉状態となる複数のガス圧作動弁と、前記作動ガスを夫々に対応する各ガス圧作動弁の駆動部に導くための複数本のガスチューブと、前記複数のガス圧作動弁の開閉状態に応じて流れる特定ガスを接続配管を介して供給するための被処理部と、を備えて成る特定ガスの供給制御装置において、前記複数本のガスチューブは、前記制御信号の入力から前記被処理部への特定ガスの供給に至る迄の時間に応じて、夫々の内容積が設定されたことを特徴とする特定ガスの供給制御装置。
IPC (3件)：
H01L 21/205
, B65G 53/04
, B65G 53/06
