特許

J-GLOBAL ID：200903036466525405

防汚性ガラス基板の製造方法

発明者： 鈴木 すすむ ,  竹田 諭司
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 望稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-360505
公開番号（公開出願番号）：特開平11-189433
出願日： 1997年12月26日
公開日（公表日）： 1999年07月13日
要約：

【要約】【課題】密着性に優れるため、機械的応力を加えても防汚層が剥離せず、長期間にわたって優れた防汚性を発揮することができる防汚性ガラス基板を得ることができる方法の提供。【解決手段】ガラス基体の表面に、アルゴンおよび/または水素によるプラズマ処理を施した後、スパッタリング法によって非晶質カーボンを主成分とする防汚層を形成する工程を有する防汚性ガラス基板の製造方法。

請求項（抜粋）：

ガラス基体の表面に、アルゴンおよび/または水素によるプラズマ処理を施した後、スパッタリング法によって非晶質カーボンを含む防汚層を形成する工程を有する防汚性ガラス基板の製造方法。

IPC (4件)：

C03C 17/22 ,  C23C 14/02 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/34

FI (4件)：

C03C 17/22 Z ,  C23C 14/02 Z ,  C23C 14/06 F ,  C23C 14/34 N