特許
J-GLOBAL ID：200903036471774103
光学的集積歪み干渉計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中平 治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-061489
公開番号（公開出願番号）：特開平6-094425
出願日： 1993年02月10日
公開日（公表日）： 1994年04月05日
要約：
【要約】【目的】 歪み測定用の従来の電気抵抗歪み計と同様に簡単に場所を節約して検査すべき部材の表面に取付け可能な光学的集積歪み干渉計を提供する。【構成】 機械的に負荷される工作物に歪み計のように取付け可能な基板10に,測定腕15,基準腕16,光分配装置,一次光入力部分11及び干渉光出力部分12が集積されている。測定腕及び基準腕を形成する光導波路の部分は,その全長を基板10に集積され,互いに平行な直線使用区間17,17′とその間にある転向区間18,18′とを持つ複数のループをなして設けられ,測定腕及び基準腕を形成する集積光導波路のすべての直線作用区間及び転向区間の相互最小間隔がどこでも維持されている。
請求項（抜粋）：
基板(10,20,30,40)に集積される光導波路のうち1つの部分即ち入力部分(11,21,31,41)が基板(10,20,30,40)の縁の所まで延びて,レーザ光源(53)の一次光を導入する入力光フアイバ(51)に導光接続され,集積光導波路のうち少なくとも1つの別の部分即ち出力部分(12,22,32,42)も同様に基板(10,20,30,40)の縁の所まで延びて,干渉光を検出装置(54)へ導出する出力光フアイバ(52)に導光接続され,集積光導波路の入力部分(11,21,31,41)の後に設けられる集積光分配装置(23,33,43)が,導入される一次光を光導波路の基準腕(16,26,36,46)と測定腕(15,25,35,45)とに分配し,基準腕(16,26,36,46)からの光と測定腕(15,25,35,45)からの光を一緒にする集積光結合器(14,24,34,44)が出力部分(12,22,32,42)へ移行し,基準腕(16,26,36,46)を形成する光導波路の部分及び測定腕(15,25,35,45)を形成する光導波路の部分が,それぞれその全長を基板(10,20,30,40)に集積され,少なくとも測定腕(15,25,35,45)を形成する光導波路の部分が,互いに平行な直線作用区間(17,27,37,47)とその間にある転向区間(18,28,28′,38)とを持つ複数のループをなして設けられ,測定腕(15,25,35,45)を形成する集積光導波路のすべての直線作用区間(17,27,37,47)及び転向区間(18,28,28′,38)の相互最小間隔がどこでも維持され,測定腕(15,25,35,45)の作用区間(17,27,37,47)の方向に基板(10,20,30,40)が歪む際,基準腕(16,26,36,46)が歪み測定技術的に中立な状態にあるように,基準腕(16,26,36,46)を形成する光導波路が構成されるか,又は基板(10,20,30,40)に設けられていることを特徴とする,2光線光学的集積歪み干渉計。
IPC (5件)：
G01B 11/16
, G01B 9/02
, G01N 21/45
, G02B 6/12
, G02B 6/26
