特許
J-GLOBAL ID：200903036477369812
液状体の塗布装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-195730
公開番号（公開出願番号）：特開平11-033458
出願日： 1997年07月22日
公開日（公表日）： 1999年02月09日
要約：
【要約】【課題】 この発明はディスペンサ装置のノズル体の位置測定を精密に行うことができるようにしたシ-ル剤の塗布装置を提供することを目的とする。【解決手段】 シ-ル剤を液晶用基板9に塗布するための塗布装置において、上記シ-ルが収容されるバレル27aおよびこのバレルの先端部に着脱自在に設けられ先端から上記バレル内の液状体が吐出されるノズル体27bとを有するディスペンサ27と、上記液晶用基板に対して上記ディスペンサを相対的にX、YおよびZ方向に移動させる駆動源15、17、19と、上記ノズル体の先端部を撮像しその撮像信号によってこのノズル体の先端部の位置を検出する撮像カメラ37、38とを具備したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
液状体を板状体に塗布するための液状体の塗布装置において、上記液状体が収容されるバレルおよびこのバレルの先端部に着脱自在に設けられ先端から上記バレル内の液状体が吐出されるノズル体とを有するディスペンサと、上記板状体に対して上記ディスペンサを相対的にX、YおよびZ方向に移動させる駆動手段と、上記ノズル体の先端部を撮像しその撮像信号によってこのノズル体の先端部の位置を検出するノズル撮像手段とを具備したことを特徴とする液状体の塗布装置。
IPC (2件)：
B05C 5/00 101
, B05C 11/00
B05C 5/00 101
, B05C 11/00
