特許

J-GLOBAL ID：200903036479178534

スライシング装置における目立てドレス方法及びその装置

発明者： 大内 久生 ,  濱崎 辰己 ,  川口 桂司
出願人/特許権者： トーヨーエイテツク株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-269277
公開番号（公開出願番号）：特開平5-104438
出願日： 1991年10月17日
公開日（公表日）： 1993年04月27日
要約：

【要約】【目的】 ウェハ切断時に切削抵抗を検出し、自動的に内周刃をドレスして目立てを行なう。【構成】 高速回転するブレード3の内周刃5に対してワーク8をブレード3の半径方向に移動させることによりワーク3を一定厚さに切断してウェハを切り出すようになっているスライシング装置において、ワーク切断時の切削抵抗を検出し、該切削抵抗の大きさに基づいて、内周刃5に対向して設けた電極13とブレード3との間に電圧を印加して内周刃5の電解ドレスを行ない、切削抵抗を一定に保持する。この方法を実施する装置は、ワーク保持部10に設けられ、ワーク切断時の切削抵抗を検出する切削抵抗検出手段12と、内周刃5に対向して配置した電極13と、該電極13とブレード3との間に電解ドレス用の直流電圧を印加する電源装置14と、前記切削抵抗検出手段12からの切削抵抗の大きさに基づいて電源装置14をオン,オフする制御手段15とを備えている。

請求項（抜粋）：

高速回転するブレードの内周刃に対してワークをブレードの半径方向に移動させることによりワークを一定厚さに切断してウェハを切り出すようにしたスライシング装置において、ワーク切断時の切削抵抗を検出し、該切削抵抗の大きさに基づいて、内周刃に対向して設けた電極とブレードとの間に電圧を印加して内周刃の電解ドレスを行ない、切削抵抗を一定に保持することを特徴とするスライシング装置における目立てドレス方法。

IPC (6件)：

B24B 49/18 ,  B23H 5/00 ,  B23H 5/10 ,  B24B 27/06 ,  B24B 53/00 ,  B28D 1/22