特許
J-GLOBAL ID：200903036483878540
レイアウトパターン検証装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-197664
公開番号（公開出願番号）：特開平5-047926
出願日： 1991年08月07日
公開日（公表日）： 1993年02月26日
要約：
【要約】【目的】 階層構造をもつレイアウトパターンデータのセル,領域を複数の基準値をもつ検証ルールにより検証することを可能とする。【構成】 検証判断モジュール3にて、予め定めた検証用基準法に対応させて分別してセル,領域を定義してあるコントロールデータ2に基づきレイアウトパターンデータ1の分別法を決定し、レイアウト分割モジュール4にてレイアウトパターンデータ1を各検証用基準値に対応しうるセル,領域毎に分別した後、レイアウトパターン展開モジュール5にて各セル,領域のレイアウトパターンデータを同一階層となるように展開して検証用レイアウトパターンデータ6を得、これをレイアウトパターン検証モジュール7にて検証ルール8に基づき検証し、エラーデータ9を得る。
請求項（抜粋）：
階層的に表わされたレイアウトパターンデータを同一階層となるよう展開して検証用レイアウトパターンデータを作成し、これを検証ルールに基づいて検証を行うレイアウトパターン検証装置において、前記検証ルールに定めた複数の基準値夫々に対応させてセル,領域を記述したコントロールデータに基づいて、前記レイアウトパターンデータのセル,領域を分別する手段と、分別されたセル,領域毎にそのレイアウトパターンデータを展開し、同一階層のレイアウトパターンデータである検証用レイアウトパターンデータを生成する手段と、該検証用レイアウトパターンデータをを有する検証ルールにおける複数の基準値夫々に基づいて検証する手段とを具備することを特徴とするレイアウトパターン検証装置。
IPC (2件)：
H01L 21/82
, G06F 15/60 370
H01L 21/82 C
, H01L 21/82 T
