特許
J-GLOBAL ID：200903036488040537
貼り合わせSOIウェーハの剥がし治具
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-080509
公開番号（公開出願番号）：特開平9-263500
出願日： 1996年03月11日
公開日（公表日）： 1997年10月07日
要約：
【要約】【課題】 貼り合わせSOIウェーハの製造において、接着後、接着界面にボイドが発生し、これを再接着のためいったん剥がす場合に、接着面を損傷させず、パーティクルが付着しないような剥がし治具を提供する。【解決手段】 剥がし治具1は、前記接着面に圧入する楔形部1aと、楔形部1aの基部両側に設けた平面部1bとを備えている。前記楔形部1aの頂角θは、分離すべき接着ウェーハ2の支持基板3、活性ウェーハ4における接着面側の面取り角度をそれぞれα,βとしたとき、θ>α+βとなるように形成されている。この楔形部1aを前記接着面に圧入すると、楔形部1aの左右斜面が面取り部3a,4aの外縁部A,Bに当接し、前記面取り部3a,4aを押し広げる。従って、楔形部1aは接着面に接触せず、平面部1b,1bが接着ウェーハ2の外縁に当接するまでの間に接着ウェーハ2を接着面から分離する。
請求項（抜粋）：
片面に鏡面研磨加工を施した支持基板と、片面を鏡面研磨加工した後、熱酸化処理を施して所定の厚さの絶縁膜を形成した活性ウェーハとを接着治具を用いて接着し、更に、接着熱処理を施して貼り合わせる貼り合わせSOIウェーハの製造において、前記接着後、接着面にボイドが発生したウェーハを分離する剥がし治具であって、前記接着面に圧入する楔形部と、楔形部の基部両側に設けられ、前記楔形部の圧入深さを規制する平面部とを備えていることを特徴とする貼り合わせSOIウェーハの剥がし治具。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C30B 35/00
, H01L 21/02 B
