特許
J-GLOBAL ID：200903036494835657
マスキング用粘着テープ及びその使用方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 崇生 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-391296
公開番号（公開出願番号）：特開2003-193226
出願日： 2001年12月25日
公開日（公表日）： 2003年07月09日
要約：
【要約】【課題】 耐熱性を有するシリコーン系粘着剤の凝集力を高めることで、高温下でのマスキング後の糊残りを生じにくくし、好ましくは、柔軟性に優れたふっ素樹脂フィルムを基材に用いる事により、簡易な貼り付けによる良好な作業性が得られるマスキング用粘着テープ、及びその使用方法を提供する。【解決手段】 スパッタリングターゲットのターゲット材とバッキングプレート材とを半田で接合する際に、余分な半田をマスキングするために用いられるマスキング用粘着テープであって、トルエン不溶解分が35%以上のシリコーン系粘着剤からなる粘着剤層を基材の片面側に形成してある。
請求項（抜粋）：
スパッタリングターゲットのターゲット材とバッキングプレート材とを半田で接合する際に、余分な半田をマスキングするために用いられるマスキング用粘着テープであって、トルエン不溶解分が35%以上のシリコーン系粘着剤からなる粘着剤層を基材の片面側に形成してあることを特徴とするマスキング用粘着テープ。
IPC (3件)：
C23C 14/34
, C09J 7/02
, C09J183/04
C23C 14/34 C
, C09J 7/02 Z
, C09J183/04
4J004AA11
, 4J004CA05
, 4J004CC02
, 4J004FA04
, 4J040EK031
, 4J040MA10
, 4J040NA19
, 4K029DC22
, 4K029DC24
