特許

J-GLOBAL ID：200903036504372111

プラズマディスプレイパネルの製造装置および製造方法

発明者： 長谷川 和也 ,  加道 博行 ,  大河 政文
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-331980
公開番号（公開出願番号）：特開2002-140992
出願日： 2000年10月31日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
要約：

【要約】【課題】 放電特性の安定な優れた表示品位を実現するプラズマディスプレイパネルと、その製造装置および製造方法を提供する。【解決手段】 真空槽内で保護層を形成する際、真空槽内のみを移動するキャリアを用いる。

請求項（抜粋）：

誘電体層が形成された基板を、基板受けを設けたキャリアに搭載し移動させながら連続的に真空槽内において前記基板上に保護層を形成するプラズマディスプレイパネルの製造装置であって、キャリアに搭載された基板を別のキャリアに転載する手段を備えたチャンバーを有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造装置。

IPC (3件)：

H01J 9/46 ,  H01J 9/02 ,  H01J 11/02

FI (3件)：

H01J 9/46 A ,  H01J 9/02 F ,  H01J 11/02 B

Fターム (12件)：

5C012AA09 ,  5C027AA07 ,  5C027AA10 ,  5C040FA01 ,  5C040FA04 ,  5C040GD09 ,  5C040GE09 ,  5C040JA07 ,  5C040JA21 ,  5C040JA34 ,  5C040JA40 ,  5C040MA30