特許
J-GLOBAL ID:200903036507256848

圧電ポンプ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 奈良 武
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-352276
公開番号(公開出願番号):特開平5-164052
出願日: 1991年12月13日
公開日(公表日): 1993年06月29日
要約:
【要約】[目的] 圧電アクチュエータを利用して順逆方向に高速流体搬送が可能な圧電ポンプを得る。[構成] 圧電ポンプ1内には積層型圧電アクチュエータ3が固定されている。積層型圧電アクチュエータ3のもう一方の端面には流体吸引吐出部材4が接着されている。さらに、圧電ポンプ1内には積層型圧電アクチュエータ3が2ケ所固定されており、この積層型圧電アクチュエータ3のもう一方の端面には弁5が接着されている。
請求項(抜粋):
駆動源に圧電アクチュエータを用いる圧電ポンプにおいて、圧電アクチュエータの微小変位により動作する流体吸引吐出部材と、該流体吸引吐出部材と一定の時間差で圧電アクチュエータの微小変位により動作する弁とを具備したことを特徴とする圧電ポンプ。
IPC (3件):
F04B 43/04 ,  F04B 9/00 ,  F04B 43/02

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