特許

J-GLOBAL ID：200903036509476837

Mgの蒸発方法

発明者： 福居 康 ,  三尾野 忠昭 ,  斎藤 実
出願人/特許権者： 日新製鋼株式会社
代理人 (1件)： 小倉 亘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-254829
公開番号（公開出願番号）：特開平8-092734
出願日： 1994年09月22日
公開日（公表日）： 1996年04月09日
要約：

【要約】【目的】 Mgの安定した蒸着を可能にする。【構成】 Mgを開口部のある容器に入れて670°C以上に加熱し、開口部からMg蒸気を蒸発させる。【効果】 蒸発速度の変動がなく安定したMgの蒸着ができる。

請求項（抜粋）：

開口部を有する容器内にMgを入れて、容器内の温度を670°C以上に加熱することにより、開口部からMg蒸気を噴出させることを特徴とするMgの蒸発方法。