特許

J-GLOBAL ID：200903036514410798

光学式磁気ディスク表面検査装置

発明者： 海保 直樹
出願人/特許権者： 富士電機株式会社
代理人 (1件)： 篠部 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-114491
公開番号（公開出願番号）：特開2000-306235
出願日： 1999年04月22日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：

【要約】【課題】光の波長よりも遙に高い分解能、とりわけ磁気ディスク等の極めて高い平坦度や平滑度を要求される表面の凹凸を検査する装置を提供する。【解決手段】光学式磁気ディスク表面検査装置は、レーザー光源1と、レーザー光源1からのレーザー光を磁気ディスク2の表面上に集光する対物レンズ3と、磁気ディスク2の表面上から所定距離はなれて配置される固体液浸レンズ5と、固体液浸レンズ5の底面で内部全反射するレーザー光の光量を検出する検出器8と、内部全反射するレーザー光を対物レンズ3を経由して検出器8に導く偏光手段6とから構成されている。

請求項（抜粋）：

レーザー光源と、該レーザー光源からのレーザー光を磁気ディスク表面上に集光する対物レンズおよび前記磁気ディスク表面上から所定の距離はなれて配置される固体液浸レンズからなるレーザー集光装置と、前記固体液浸レンズの底面で内部全反射するレーザー光の光量を検出する検出器と、前記内部全反射するレーザー光を前記対物レンズを経由して前記検出器に導く偏光手段とを具備したことを特徴とする光学式磁気ディスク表面検査装置。

IPC (4件)：

G11B 5/84 ,  G01B 11/30 ,  G01N 13/14 ,  G11B 7/135

FI (4件)：

G11B 5/84 C ,  G01B 11/30 D ,  G01N 37/00 D ,  G11B 7/135 Z

Fターム (23件)：

2F065AA50 ,  2F065BB03 ,  2F065CC03 ,  2F065DD03 ,  2F065DD05 ,  2F065DD06 ,  2F065FF44 ,  2F065FF58 ,  2F065GG04 ,  2F065GG12 ,  2F065LL04 ,  2F065LL46 ,  2F065MM04 ,  2F065MM07 ,  2F065PP22 ,  2F065UU01 ,  2F065UU07 ,  5D112AA24 ,  5D112JJ03 ,  5D119AA50 ,  5D119BA01 ,  5D119BB20 ,  5D119EA10