研磨装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三好秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-335401
公開番号（公開出願番号）：特開平9-174422
出願日： 1995年12月22日
公開日（公表日）： 1997年07月08日
要約：

【要約】【課題】研磨仕上がり面の位置精度を修正する機能を有して研磨面を研磨仕上げ指定平面に的確に仕上げること。【解決手段】ベッド1上に回転可能に設けられてモータ9により回転駆動される回転テーブル5にラップ定盤13を設け、ラップ定盤13との対向面方向に移動可能にコラム3に剛性接続された主軸支持スライダ21にラップ定盤13の盤面15に垂直な軸線廻りに回転可能なワーク主軸25を設け、ワーク主軸25にはワーク取付治具である微傾斜ヘッド39を取り付けてこの微傾斜ヘッド39にワークWを固定する。主軸支持スライダ21は送りねじ機構によってラップ定盤13の盤面15との対向面方向に剛固に加圧移動させる。

請求項（抜粋）：

ベッド上に回転可能に設けられた回転テーブルと、前記回転テーブルを回転駆動するテーブル駆動装置と、前記回転テーブルに装着されたラップ定盤と、前記ラップ定盤との対向面方向に移動可能にコラムに剛性接続された主軸支持スライダと、主軸支持スライダを前記ラップ定盤との対向面方向に剛固に加圧する加圧手段と、前記主軸支持スライダに前記ラップ定盤の盤面に垂直な軸線廻りに回転可能あるいは前記ラップ定盤の盤面と平行な方向に往復動可能に設けられたワーク主軸と、前記ワーク主軸を回転駆動あるいは往復駆動する主軸駆動装置とを有していることを特徴とする研磨装置。

引用特許：

審査官引用 (5件)

ウエハ研磨装置およびその方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-131459 出願人：ソニー株式会社
特開平4-069161
特開平4-069161

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