特許

J-GLOBAL ID：200903036518720112

新規ジアミノ化合物、ポリアミド酸樹脂、ポリアミド酸エステル樹脂、ポリイミド樹脂、それらの製造方法及び該樹脂を含有する感光性樹脂組成物並びにポリイミダゾピロロン樹脂及びポリイミダゾピロロンイミド樹脂

発明者： 萩原 秀雄 ,  鍛治 誠 ,  西沢 広 ,  鈴木 健司 ,  小島 康則
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-298560
公開番号（公開出願番号）：特開平5-301959
出願日： 1992年11月09日
公開日（公表日）： 1993年11月16日
要約：

【要約】【目的】 現像性に優れるとともに、膜強度が高く、更に低熱膨張性を有するレリーフパターンを形成しうる感光性樹脂組成物を提供すること。【構成】 下記一般式(I)で示される新規ジアミノ化合物、必要に応じて他のジアミノ化合物及びテトラカルボン酸二無水物を構成モノマーとするポリアミド酸樹脂、そのカルボン酸基がエステル化されたポリアミド酸エステル樹脂及び/又はそれらを脱水又は脱アルコール閉環して得られるポリイミド樹脂を主成分として含有する感光性樹脂組成物。一般式(I)において、Xは1価の感光基を表し、R1は(2+p)価の有機基を表し、pは1又は、2の整数を表し、p=1の場合は一つの-(NHCONH-X)基と二つのアミノ基の一方はR1中の隣接する二つの原子にそれぞれ結合しており、p=2の場合は二つの-(NHCONH-X)基はR1中の二つのアミノ基が別々に結合している別々の原子にそれぞれ隣接する原子にそれぞれ結合している。【化1】

請求項（抜粋）：

一般式(I)【化1】〔式中、Xは1価の感光基を表し、R1は(2+p)価の有機基を表し、pは1又は2の整数を表し、p=1の場合は一つの-(NHCONH-X)基と二つのアミノ基の一方はR1中の隣接する二つの原子にそれぞれ結合しており、p=2の場合は二つの-(NHCONH-X)基はR1中の二つのアミノ基が別々に結合している別々の原子にそれぞれ隣接する原子にそれぞれ結合している〕で示される新規ジアミノ化合物。

IPC (8件)：

C08G 73/10 NTF ,  C07C275/40 ,  C08G 73/06 NTQ ,  G03F 7/027 513 ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/031 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/038 504