半導体ウェハの位置決め装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-170043
公開番号（公開出願番号）：特開2000-012657
出願日： 1998年06月17日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：

【要約】【課題】本発明は、非接触で正確に半導体ウェハの中心位置を検出できる小型で安価な半導体ウェハの位置決め装置および方法を提供する。【解決手段】半導体ウェハ搬送路中に一対のセンサ6、7を固定して設け、これらセンサ6、7により半導体ウェハ2の移動方向上の前後のエッジを検出するとともに、これらエッジ間の距離を1/2して半導体ウェハ2の移動方向の中心軸を求めて、この中心軸と供給先からの所定距離に設定されたセンサの位置Fとの差からX方向の中心ずれ量ΔXを求め、また、センサ6、7により検出される左右エッジ点のずれ量に相当する距離X’と予め設定された定数aからY方向のずれ量ΔYを求め、これら求められたずれ量ΔX、ΔYに基づいて半導体ウェハ2の位置決めを補正する。

請求項（抜粋）：

カセットより取り出される半導体ウェハを所定の供給先で位置決めする半導体ウェハの位置決め装置において、前記カセットと前記供給先とのウェハ搬送路中に固定して設けられ、該カセットから取り出される半導体ウェハのエッジを検出する一対のセンサと、少なくとも一方のセンサで検出される前記半導体ウェハの移動方向上の前後のエッジ間の距離と前記センサの位置の関係から前記半導体ウェハの移動方向のずれ量を求めるとともに、前記一対のセンサにより検出される左右のエッジのずれ量と予め設定された定数から前記移動方向に直交する方向のずれ量を求める演算手段とを具備し、前記演算手段で求められたずれ量に基づいて前記供給先での前記半導体ウェハの位置決めを補正することを特徴とする半導体ウェハの位置決め装置。

Fターム (5件)：

5F031GG02 , 5F031GG14 , 5F031GG20 , 5F031HH04 , 5F031KK09

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