特許

J-GLOBAL ID：200903036529600666

噴流メッキ装置

発明者： 手塚 良麿 ,  神月 靖 ,  中野 正
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
代理人 (1件)： 鴨田 朝雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-183360
公開番号（公開出願番号）：特開平7-090673
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1995年04月04日
要約：

【要約】【目的】 構造簡単で、保守管理の容易な噴流メッキ装置であって、メッキ中の電極の部分から発生する気泡等が被メッキ板の面に停滞せず、また被メッキ板の面に沿って通過するメッキ液の通過量を均一とすることにより、均一なメッキ膜厚が被メッキ板に形成される。【構成】 噴流カップの上部に配置した被メッキ板の下面にメッキ液を噴射させる噴流メッキ装置において、該噴流カップの上端面に複数個の切欠を有することを特徴とする噴流メッキ装置。

請求項（抜粋）：

被メッキ板表面にメッキを施す噴流メッキ装置において、該被メッキ板を水平な状態にメッキ液で浮遊させたときに該被メッキ板の上限位置を規制する押さえ板と、該押さえ板の締め付け治具と、被メッキ板に接している電極棒と、メッキ液を被メッキ板に噴流させる噴流カップと、該噴流カップ内部に配置される複数の電極と、被メッキ板に噴流させられたメッキ液を収容するメッキ液槽とで構成され、該噴流カップの上端面部に複数個の堰及びその間の切欠を有することを特徴とする噴流メッキ装置。

IPC (2件)：

C25D 5/08 ,  H01L 21/321

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-205696
  
• 特開昭58-182823
  
• 特開平4-246199
  
• 特開平4-315434