特許
J-GLOBAL ID：200903036535908931
抵抗測定方法及び装置と電子源の製造方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大塚 康徳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-088964
公開番号（公開出願番号）：特開平11-287831
出願日： 1998年04月01日
公開日（公表日）： 1999年10月19日
要約：
【要約】【課題】 マトリクス状に配置された抵抗性素子の抵抗値を配線抵抗による電圧降下の影響を無くして正確に測定する。【解決手段】 m(mは正の整数)本の行配線とn(nは正の整数)本の列配線とによりマトリクス状に配線されたm×n個の抵抗性素子の抵抗を測定する抵抗測定装置であって、行配線4021及び列配線4022のそれぞれの両端部と、これら両端部間の少なくとも一箇所以上で行配線4021及び列配線4022のそれぞれにプローブ針4042を接触させ、これらプローブ針からの信号線を各行配線及び各列配線ごとに短絡した行方向信号線群4041、列方向信号線群4042を形成し、行方向信号線群4041のそれぞれをシャント抵抗4034を介して接地し、印加パタ切替回路4031により、列方向信号線群4042のそれぞれを順次選択して所定電圧Vsを印加し、この電圧印加に対応して行及び列配線に接続されたプローブ針における電圧を測定し、この測定された電圧値に基づいて、接点解析方程式を用いて複数の抵抗性素子4023の各々の抵抗値を算出する。
請求項（抜粋）：
m(mは正の整数)本の行配線とn(nは正の整数)本の列配線とによりマトリクス状に配線されたm×n個の抵抗性素子の抵抗を測定する抵抗測定装置であって、前記行配線及び列配線のそれぞれの両端部と、前記両端部間の少なくとも一箇所以上で前記行配線及び/又は前記列配線のそれぞれに電気的に接続する複数のコンタクト部を有するコンタクト手段と、前記コンタクト手段の前記行配線及び列配線に接続された前記コンタクト部からの信号線を各行配線及び各列配線ごとに短絡する短絡手段と、前記短絡手段により短絡された列方向信号線群或いは行方向信号線群のいずれかを一方の信号線群を所定抵抗を介して接地し、他方の信号線群の信号線を順次選択して所定電圧を印加する電圧印加手段と、前記電圧印加手段による各信号線への電圧印加に対応して前記行及び列配線に接続された前記コンタクト部における電圧を測定する電圧測定手段と、前記電圧測定手段により測定された電圧値に基づいて前記複数の抵抗性素子の各々の抵抗値を算出する抵抗値算出手段と、を有することを特徴とする抵抗測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 27/02 R
, H01J 9/02 E
