特許
J-GLOBAL ID:200903036541999132

加振台の多モード振動制御法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小川 信一 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-367806
公開番号(公開出願番号):特開平11-194066
出願日: 1997年12月29日
公開日(公表日): 1999年07月21日
要約:
【要約】【課題】剛性が低下する大型振動テーブル上の被試験構造物に、目的とする加振入力を正しく被加振構造物に伝達する加振台の多モード振動制御法を提供する。【解決手段】振動面方向に剛性が高く、垂直方向に固有振動モードを有する振動テーブル1を、振動除去対象振動モードの最高次数以上の数の垂直加振アクチュエータ2で支持し、ばね定数kによって連結される等価質点Mと垂直加振アクチュエータ2とを含む集中定数型振動モデル7に基づいて制御演算を行うコンピュータからなる制御法は、質点Mの振動を検出するセンサの信号により演算する、ローパスフィルター演算手段、制振演算手段及び出力手段を備え、前記制御対象振動モードを除去する。
請求項(抜粋):
複数の垂直加振アクチュエータによって振動テーブルを支持し、この振動テーブルの振動面に平行方向に加振する水平加振アクチュエータを所定位置に取り付けた加振台において、前記振動テーブルは、前記振動面に平行方向の剛性が高く形成されており、前記垂直加振アクチュエータによって、前記振動テーブルの厚み方向に発生する低次振動モードを制御する制御法であって、前記垂直加振アクチュエータの数を、制御対象の振動モードの最高次数と同じ、又はそれ以下の数とし、前記最高次数と同じ数の質点を、少なくとも前記支持位置を含む前記振動テーブルに配置され、且つ、所定のばね定数によって各質点間が連結された質点と、前記垂直加振アクチュエータとを含む系の集中定数型垂直方向振動モデルを作成し、前記質点の少なくとも所定か所に、質点の変位を検出するセンサを取り付け、このセンサの検出信号を制御手段に与え、この制御手段は、前記最高次数より高い次数の振動モードに対する感度を低減化するローパスフィルター演算手段、このローパスフィルター演算手段の演算結果と、前記各質点の前記垂直方向の変位及び速度信号とから制御対象振動の制御信号を演算する制振演算手段、及び、この制振演算手段の出力する制振信号に前記振動テーブルを加振する振動を重畳した垂直加振信号と、前記水平加振アクチュエータに水平方向に加振する水平加振信号とを出力する出力手段を、備えたコンピュータからなり、得られた制御信号を前記垂直加振アクチュエータに与え、前記センサの検出信号をフィードバックすることにより、前記振動テーブルを加振・制御するようにしたことを特徴とする加振台の多モード振動制御法。
IPC (3件):
G01M 7/02 ,  B06B 1/12 ,  F16F 15/02
FI (3件):
G01M 7/00 B ,  B06B 1/12 Z ,  F16F 15/02 A
引用文献:
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