特許

J-GLOBAL ID：200903036559102598

多段ロボットアームを有する搬送装置及び近接露光方式電子ビーム露光装置

発明者： 藤田 太一 ,  冨田 良幸 ,  小野 俊雄
出願人/特許権者： 株式会社東京精密 ,  住友重機械工業株式会社 ,  日立那珂エレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 石田 敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-105576
公開番号（公開出願番号）：特開2003-303754
出願日： 2002年04月08日
公開日（公表日）： 2003年10月24日
要約：

【要約】【課題】 アームの動きを確認するのが難しい部分に配置されてもティーチングが容易に行える多段ロボットアームを使用した搬送装置の実現。【解決手段】 旋回可能なアーム22の先端に更に別のアーム23を旋回可能に接続する形で複数本のアーム22,23,24を接続した多段ロボットアームと、多段ロボットアームの各アームの旋回位置を制御する制御装置40とを備える搬送装置であって、先端アーム24は、先端アームの所望の移動軌跡に対応する指示ライン25,29を有し、所定位置において、指示ラインを検出する検出器31,32;33,34を備え、制御装置は、検出器が指示ラインを検出するように記多段ロボットアームを制御する。

請求項（抜粋）：

旋回可能なアームの先端に更に別のアームを旋回可能に接続する形で複数本のアームを接続した多段ロボットアームと、前記多段ロボットアームの各アームの旋回位置を制御する制御装置とを備える搬送装置であって、先端アームは、当該先端アームの所望の移動軌跡に対応する指示ラインを有し、所定位置において、前記指示ラインを検出する検出器を備え、前記制御装置は、前記検出器が前記指示ラインを検出するように前記多段ロボットアームを制御することを特徴とする多段ロボットアームを有する搬送装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/68

FI (6件)：

G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/30 541 L ,  H01L 21/30 502 J

Fターム (33件)：

2H097AA03 ,  2H097BA10 ,  2H097CA16 ,  2H097DA11 ,  2H097GA45 ,  2H097KA03 ,  2H097KA12 ,  2H097KA28 ,  2H097LA10 ,  5F031CA02 ,  5F031CA07 ,  5F031FA01 ,  5F031FA04 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA36 ,  5F031GA43 ,  5F031JA05 ,  5F031JA22 ,  5F031JA31 ,  5F031MA03 ,  5F031MA27 ,  5F031PA02 ,  5F046CD02 ,  5F046CD04 ,  5F046CD06 ,  5F046DA06 ,  5F046DB05 ,  5F046DD06 ,  5F056AA25 ,  5F056EA11 ,  5F056EA12 ,  5F056EA14