特許
J-GLOBAL ID：200903036559141429
単結晶引上装置における引上ワイヤ巻き取り機構
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
衞藤 彰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-351097
公開番号（公開出願番号）：特開平9-156887
出願日： 1995年12月14日
公開日（公表日）： 1997年06月17日
要約：
【要約】【課題】 チョクラルスキー法による単結晶引上装置における単結晶の引上げワイヤ巻上装置の小型化、軽量化、簡略化と、引上げ単結晶の荷重増大に対応する引上げ能力の向上と、引上げ精度の向上を図る。【解決手段】 引上げ回転動作と協動して引上方向に沿った結晶軸線を中心に自身が回転するワイヤ巻き取りドラム7を有する単結晶引上装置において、該ワイヤ巻き取りドラム7の引上げ回転軸に沿って左右で巻き方向が対称となるよう該ワイヤ巻き取りドラム7の周壁に設けた一対の螺旋状の溝8と、該溝8にワイヤ巻き取りドラム7の引上げ回転に伴い二本吊状に同一巻込方向へ巻込案内されるよう垂下した一対のワイヤ部材9と、該ワイヤ部材9の下方先端に揺動可能に接続した種結晶保持体12とを設ける。
請求項（抜粋）：
引上げ回転動作と協動して引上方向に沿った結晶軸線を中心に自身が回転されるワイヤ巻き取りドラムを有する単結晶引上装置において、該ワイヤ巻き取りドラムの引上げ回転軸に沿って左右で巻き方向が対称となるよう該ワイヤ巻き取りドラムの周壁に設けた一対の螺旋状の溝と、該溝にワイヤ巻き取りドラムの引上げ回転に伴い二本吊状に同一巻込方向へ巻込案内されるよう垂下された一対のワイヤ部材と、該ワイヤ部材の下方先端に揺動可能に接続された種結晶保持体とを有することを特徴とした単結晶引上装置における引上げワイヤ巻き取り機構。
IPC (3件)：
B66D 1/30
, C30B 15/30
, C30B 15/32
B66D 1/30 A
, B66D 1/30 B
, C30B 15/30
, C30B 15/32
