特許
J-GLOBAL ID：200903036561340374
探針駆動機構並びに該機構を用いた圧電式アクチュエータの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 敬介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-314763
公開番号（公開出願番号）：特開2001-191300
出願日： 1992年05月20日
公開日（公表日）： 2001年07月17日
要約：
【要約】【課題】 カンチレバーと支持体との間で発生する寄生容量を低減した探針駆動機構の製造方法を提供する。【解決手段】 支持体上に厚さが5000Å以上の第1の絶縁層を設け、該絶縁層を支持体部を残してパターニングし、さらに第2の絶縁層を設け、電極層と圧電体層を順次積層し、支持体部以外の支持体を除去してカンチレバーを形成する。
請求項（抜粋）：
圧電体薄膜と、これを挟持する電極を有するバイモルフカンチレバーであって、該カンチレバーの一端が絶縁層を介して支持体の表面に支持され、且つその他端に情報入出力用のプローブを備えた探針駆動機構の製造方法であって、支持体上に第1の絶縁層を設け、上記カンチレバーの一端を支持する支持体部を残し、エッジ部において傾斜部を有するようにパターニングする工程、更にその上に第2の絶縁層を設ける工程、第2の絶縁層上に電極層と圧電体薄膜を順次積層する工程、プローブを形成する工程、及び支持体部以外の支持体を除去してカンチレバーを形成する工程を含むことを特徴とする探針駆動機構の製造方法。
IPC (9件)：
B81C 1/00
, G01B 21/00
, G01N 13/12
, G12B 21/04
, H01L 21/3065
, H01L 21/306
, H01L 21/318
, H01L 41/09
, H01L 41/22
B81C 1/00
, G01B 21/00 P
, G01N 13/12 D
, H01L 21/318 B
, G12B 1/00 601 B
, H01L 21/302 J
, H01L 21/306 E
, H01L 41/08 U
, H01L 41/22 Z
