特許

J-GLOBAL ID：200903036565933744

異物検査装置、露光装置、及び露光方法

発明者： 加藤 正紀
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-243372
公開番号（公開出願番号）：特開2002-055059
出願日： 2000年08月10日
公開日（公表日）： 2002年02月20日
要約：

【要約】【課題】 散乱光の光強度差が散乱角に応じて大きく変化する場合であっても、その差を低減して異物の検査上不都合のない差に調整可能であり、しかも比較的安価に実現できる異物検査装置、露光装置、及び露光方法を提供する。【解決手段】 光ビームB1を被検査面としてのペリクル60の表面に照射する照射系50と、ペリクル60の表面に付着した異物からの散乱光を受光する受光系65と、受光系65で受光された散乱光の光強度に応じた散乱信号を出力する光電検出素子68とを備えた異物検査装置であって、ペリクル60の表面に照射する光ビームB1の空間強度分布を調整する照射光調整部材53を備える。また、受光系65に入射する散乱光の光強度を散乱光の散乱受光角に応じて調整する。

請求項（抜粋）：

光ビームを被検査面に照射する照射系と、前記被検査面に付着した異物からの散乱光を受光する受光系と、当該受光系で受光された散乱光の光強度に応じた散乱信号を出力する光電検出素子とを備えた異物検査装置であって、前記被検査面の位置に応じて異なる散乱受光角のもとで散乱光が前記受光系へ入射することにより前記光電検出素子にて生ずる被検査面の位置に応じた散乱光の光強度差を低減させる調整手段を具備することを特徴とする異物検査装置。

IPC (4件)：

G01N 21/956 ,  G01B 11/30 ,  G03F 7/22 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G01N 21/956 A ,  G01B 11/30 A ,  G03F 7/22 H ,  H01L 21/30 503 G

Fターム (34件)：

2F065AA49 ,  2F065CC18 ,  2F065FF44 ,  2F065GG06 ,  2F065GG22 ,  2F065HH04 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL21 ,  2F065LL30 ,  2F065MM22 ,  2F065QQ31 ,  2F065UU07 ,  2G051AA56 ,  2G051AB01 ,  2G051AB20 ,  2G051BA10 ,  2G051BB07 ,  2G051BB09 ,  2G051BB11 ,  2G051BB17 ,  2G051BB20 ,  2G051BC03 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB05 ,  2G051CC07 ,  2G051DA07 ,  5F046AA18