特許
J-GLOBAL ID：200903036566914247
走査形電子顕微鏡及びそれを用いた試料像観察方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-327068
公開番号（公開出願番号）：特開平8-185823
出願日： 1994年12月28日
公開日（公表日）： 1996年07月16日
要約：
【要約】【目的】 低加速電圧で高分解能観察を行う走査形電子顕微鏡において、試料ステージを傾斜したり、試料に凹凸や突起がある場合に、非点収差の増大を防いで高分解能像観察を行う。【構成】 対物レンズ6の磁極の電子線通路部に一次電子線4が通過できる軸対称な電極10a,10bを配置し、対物レンズ6を通過する一次電子線のエネルギーを最終加速電圧より高くする。試料ステージ13は試料の傾斜角度を検出するセンサー25を備え、試料傾斜角度が大きいとき、制御手段11により電極10aへの印加電圧を小さな値又はゼロにする。
請求項（抜粋）：
一次電子線を細く絞って試料に照射するための集束レンズ系と、前記一次電子線を試料上で二次元的に走査するための電子線偏向手段と、対物レンズと、試料を傾斜させる機構を備える試料ステージとを含む走査形電子顕微鏡において、前記試料ステージに傾斜角度検出手段を設け、前記対物レンズの磁極の電子線通路部に一次電子線が通過できる軸対称な電極を配置し、前記電極への印加電圧を前記傾斜角度検出手段の出力により試料ステージの傾斜角度に連動して制御する制御手段を備えることを特徴とする走査形電子顕微鏡。
IPC (4件)：
H01J 37/153
, H01J 37/141
, H01J 37/20
, H01J 37/22 502
