特許

J-GLOBAL ID：200903036567966178

走査型プローブ顕微鏡、カンチレバーカセット、カンチレバーの供給方法および状態管理方法

発明者： 広木 武則 ,  森本 高史 ,  国友 裕一 ,  榑沼 透 ,  永野 好幸
出願人/特許権者： 日立建機ファインテック株式会社
代理人 (1件)： 田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-127857
公開番号（公開出願番号）：特開2002-323430
出願日： 2001年04月25日
公開日（公表日）： 2002年11月08日
要約：

【要約】【課題】 取扱い、状態検出、管理が容易であり、走査型プローブ顕微鏡において探針の自動交換と自動管理、さらに自動測定を可能にし、測定を効率よく測定できる走査型プローブ顕微鏡およびカンチレバーカセットを提供する。【解決手段】 試料台29の試料の表面に探針12が向くようにカンチレバー装着部にカンチレバー13を装着し、試料と探針の間に生じる物理量を保持しながら探針で試料表面を走査して試料表面を測定する走査型プローブ顕微鏡であり、試料台に設けたカンチレバーカセット設置ポート31,32と、カンチレバーカセット設置ポートに、カンチレバー取出し可能状態で設置され、複数のカンチレバーを保管するカンチレバーカセット10と、カンチレバーカセットに保管された複数のカンチレバーのうち1つを取り出す取出し装置とを備え、カンチレバーカセットとしてメーカから提供されたそのものが用いられる。

請求項（抜粋）：

試料台に取り付けられた試料に対してその表面に探針が向くようにカンチレバー装着部にカンチレバーを装着し、前記試料と前記探針の間に生じる物理量を保持しながら前記探針で前記試料の表面を走査して試料表面を測定するようにした走査型プローブ顕微鏡において、前記試料台の少なくとも1箇所に設けたカンチレバーカセット設置ポートと、前記カンチレバーカセット設置ポートに、カンチレバー取出し可能状態で設置され、複数の前記カンチレバーを保管するカンチレバーカセットと、前記カンチレバーカセットに保管された前記複数のカンチレバーのうち1つのカンチレバーを取り出す取出し装置とを備え、前記カンチレバーカセットとしてメーカから提供されたそのものが用いられ、かつ測定中に前記カンチレバーの自動交換が行われることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (3件)：

G01N 13/16 ,  G01B 21/30 ,  G01N 13/10

FI (3件)：

G01N 13/16 C ,  G01B 21/30 ,  G01N 13/10 C

Fターム (14件)：

2F069AA57 ,  2F069AA60 ,  2F069DD16 ,  2F069DD25 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069HH04 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ14 ,  2F069LL03 ,  2F069LL10 ,  2F069MM04 ,  2F069MM24 ,  2F069RR05