特許
J-GLOBAL ID：200903036568348435
荷電粒子線装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-243477
公開番号（公開出願番号）：特開平7-105897
出願日： 1993年09月30日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：
【要約】【目的】 試料ステージ駆動機構をその移動可能範囲内の所望の位置に迅速に移動できる荷電粒子線装置を提供すること。【構成】 試料を対物レンズから30mm離し、試料を30°傾斜させて試料観察を行なう場合、オペレーターはマーカー制御回路7を操作してマーカーMを移動可能範囲A内の領域A3 に移動させる。マーカー制御回路としてマウスを使用している場合、マウスのボタンを押して試料ステージの移動位置を設定する。表示制御回路5は、マーカーMの指示する位置に光軸方向移動体8および傾斜体9を移動させる信号(Z=30mm,T=30°)を試料ステージ駆動回路4に送る。試料ステージ駆動回路4はこの信号に基づいて光軸方向移動体8をZ=30mmの位置に、そして、傾斜体9を30°傾斜させる。
請求項（抜粋）：
試料ステージ駆動機構上に置かれた試料に荷電粒子線を照射し、試料から得られる信号を検出して試料の観察や分析を行なう荷電粒子線装置において、前記試料ステージ駆動機構の移動可能範囲を表示する表示手段と、該表示手段の画面上の任意の位置を指示するための手段と、該指示された位置に対応する試料ステージ駆動機構の位置に該試料ステージ駆動機構を移動させる手段とを備えた荷電粒子線装置。
引用特許：
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