特許

J-GLOBAL ID：200903036569484979

高周波プラズマ用インピーダンス整合装置

発明者： 藤井修逸
出願人/特許権者： 株式会社アドテック
代理人 (1件)： 新実 健郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-139505
公開番号（公開出願番号）：特開平6-325897
出願日： 1993年05月17日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：

【要約】【目的】 高周波電源とプラズマ反応チャンバーとの間のインピーダンス整合を効果的に行う。【構成】 高周波プラズマ用電源1とプラズマ反応チャンバ4における一対の電極6a、6bとの間に挿入されたインピーダンス整合装置であって、前記一対の電極6a、6bに導かれる一対の出力ライン中にn2 :1型インピーダンス変換器として接続された伝送線路トランス(但し、n=2以上の整数)3を挿入し、これによって電源の出力インピーダンス値の1/n2 の定格負荷インピーダンス値となるプラズマ反応チャンバー4に電力供給するようにしたものである。

請求項（抜粋）：

高周波プラズマ用電源とプラズマ反応チャンバにおける一対の電極との間に挿入されたインピーダンス整合装置であって、前記一対の電極に導かれる一対の出力ライン中にn2 :1型インピーダンス変換器として接続された伝送線路トランス(但し、n=2以上の整数)を挿入し、これによって電源の出力インピーダンス値の1/n2 の定格負荷インピーダンス値となるプラズマ反応チャンバーに電力供給するようにしたことを特徴とする高周波プラズマ用インピーダンス整合装置。

IPC (4件)：

H05H 1/46 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/302

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭59-153303
  
• 特開昭58-158929