特許

J-GLOBAL ID：200903036572541061

粒子ビーム装置

発明者： 嘉 藤 誠
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-059397
公開番号（公開出願番号）：特開2002-260574
出願日： 2001年03月05日
公開日（公表日）： 2002年09月13日
要約：

【要約】【課題】 シュノーケルレンズの光軸と静電レンズの光軸のずれを簡単に補正する。【解決手段】、シュノーケルレンズ8の励磁コイル8Dの上に、X方向偏向コイルとY方向偏向コイルを配設する。メモリ13には、ずれ測定用サンプルの標準スペクトル(シュノーケルレンズの光軸Oと静電レンズ3の光軸Qのずれが無い時に測定したスペクトル)が格納されている。ずれ測定用サンプルを試料としてセットし、その光電子スペクトルを測定する。演算装置12は検出器5を通じて入ってきたずれ測定用サンプルの測定したスペクトルと、メモリ13から読み出したずれ測定用サンプルの標準スペクトルを比較し、そのずれを算出し、そのずれに対応した偏向電流が出力されるように偏向電源11に指令を送る。

請求項（抜粋）：

被照射物にX線,電子若しくはイオン等の粒子ビームを照射する手段、被照射物からの荷電粒子ビームのエネルギー若しくは質量に関して分光するアナライザー、該アナライザーにより選択された荷電粒子を検出する検出器、及び、被照射物からの荷電粒子ビームを集束して前記アナライザー内に導くためのレンズ手段を備えており、前記レンズ手段が、荷電粒子ビームを集束且つ減速させて前記アナライザーに導く第1レンズと、被照射物からの荷電粒子ビームを前記第1レンズの物面に集束させる第2レンズとから成る粒子ビーム装置において、前記レンズ手段近傍に、被照射物からの荷電粒子ビームを偏向するための手段を設け、前記第1レンズの光軸と第2レンズの光軸のずれに基づいて試料からの荷電粒子ビームを偏向するように成した粒子ビーム装置。

IPC (7件)：

H01J 49/06 ,  G01N 23/227 ,  H01J 37/04 ,  H01J 37/141 ,  H01J 37/244 ,  H01J 37/252 ,  H01J 49/48

FI (7件)：

H01J 49/06 ,  G01N 23/227 ,  H01J 37/04 B ,  H01J 37/141 Z ,  H01J 37/244 ,  H01J 37/252 Z ,  H01J 49/48

Fターム (30件)：

2G001AA01 ,  2G001AA03 ,  2G001AA05 ,  2G001BA06 ,  2G001BA08 ,  2G001BA09 ,  2G001CA03 ,  2G001CA05 ,  2G001EA04 ,  2G001FA01 ,  2G001FA06 ,  2G001GA01 ,  5C030AA08 ,  5C030AB06 ,  5C033DD03 ,  5C033DE03 ,  5C033NN10 ,  5C033NP01 ,  5C033NP05 ,  5C033QQ08 ,  5C033QQ11 ,  5C033RR04 ,  5C033RR05 ,  5C033RR08 ,  5C033RR09 ,  5C038FF07 ,  5C038FF08 ,  5C038FF11 ,  5C038KK04 ,  5C038KK07