特許

J-GLOBAL ID：200903036573352750

高周波放電方法及びその装置並びに高周波処理装置

発明者： 戸野谷 純一 ,  鈴木 啓之
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-007581
公開番号（公開出願番号）：特開平11-317299
出願日： 1999年01月14日
公開日（公表日）： 1999年11月16日
要約：

【要約】【課題】本発明は、真空容器内に配置するアンテナを単純な構造にする。【解決手段】アンテナ構造を直線状にし、この内部直線アンテナ9を1本又は複数本直列又は並列に接続し、プラズマ生成チャンバ1の内部に配置する。

請求項（抜粋）：

容器内に少なくとも1つの直線状のアンテナを配置し、このアンテナに高周波電力を供給することにより前記真空容器内に誘導電界を発生させてプラズマを生成する高周波放電方法。

IPC (5件)：

H05H 1/46 ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/31

FI (5件)：

H05H 1/46 L ,  C23C 16/50 D ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 C ,  H01L 21/302 B