特許
J-GLOBAL ID:200903036573639324
空間フィルタリング装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
山田 正紀 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-282736
公開番号(公開出願番号):特開平7-134268
出願日: 1993年11月11日
公開日(公表日): 1995年05月23日
要約:
【要約】【目的】本発明は、画像に所望の空間フィルタリングを施す空間フィルタリング装置に関し、例えば液晶表示パネル、CRTディスプレイ等、自ら光を射出する被測定体の輝度ムラ、色ムラ、傷、欠陥、異物付着等の検査に好適な空間フィルタリング装置を提供する。【構成】 液晶表示パネル11から発せられた光による画像をLCLV13に結像し、偏光板20を経由したレーザ光をLCLV13に照射し、その反射光を偏光板22を経由させることによりその画像を表わすレーザ光束を得る。そのレーザ光束に対し、空間フィルタリング処理を行なう。
請求項(抜粋):
光を放射する被測定体の該光を入射して該光による被写体像を形成する結像光学系と、コヒーレント光を射出するコヒーレント光源と、前記コヒーレント光源から射出されたコヒーレント光を入射して、該コヒーレント光を、前記結像光学系を経由して入射された被測定体像を担持するコヒーレント光に変換する空間光変調素子とを備えたインコヒーレント-コヒーレント変換部、および前記インコヒーレント-コヒーレント変換部から射出されたコヒーレント光に空間フィルタリング処理を施す空間フィルタリング部を具備したことを特徴とする空間フィルタリング装置。
引用特許:
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