特許
J-GLOBAL ID：200903036578379800
試料固定具
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-157725
公開番号（公開出願番号）：特開平9-007536
出願日： 1995年06月23日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：
【要約】【目的】 断面試料を電子顕微鏡に使用する場合、顕微鏡治具への試料の着脱及び試料の傾斜を容易に行えるようにする。【構成】 本体1は、試料搭載面41の底面31にFIB用固定ネジ3が形成されており、側面21および22にはSEM用固定ネジ2が複数個形成されている。試料搭載面41には、試料固定金具9が形成されている。本体1上に試料4が試料固定ネジ10を用いて固定されている。FIB試料台6上に本体1をFIB用固定ネジ3を用いて固定され、FIB試料室に挿入され、試料4を加工する。次に、SEM試料台7上に本体1をSEM用固定ネジ2を用いて固定され、SEM試料室に挿入される。
請求項（抜粋）：
試料を搭載する試料搭載面を有する本体と、この本体の試料搭載面の対抗面に設けられ、集束イオンビーム装置に固定する集束イオンビーム用固定ネジと、この集束イオンビーム用固定ネジの設けられた面に直角な面に設けられ、電子顕微鏡に固定する電子顕微鏡用固定ネジとを含むことを特徴とする試料固定具。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 37/20 A
, G01N 1/28 W
