特許

J-GLOBAL ID：200903036579009330

ビーム位置測定システム

発明者： 山本 雄一 ,  石 禎浩 ,  松井 重明
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 大岩 増雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-196328
公開番号（公開出願番号）：特開2001-021698
出願日： 1999年07月09日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：

【要約】【課題】 右側電極信号増幅用と左側電極信号増幅用のアンプに温度差を生じさせず、均等な増幅率が得られるビーム位置測定システムを得る。【解決手段】 右側電極2と左側電極3との二つの電極が真空容器内9に設けられた静電型ビーム位置モニタ1と、この静電型ビーム位置モニタ1の右側電極2からの出力電圧と左側電極3からの出力電圧とを個別に増幅する複数の増幅回路18aおよび18bと、この複数の増幅回路18aおよび18bからの出力を受けてビーム位置を演算するビーム位置信号処理回路6とを備え、静電型ビーム位置モニタ1の右側電極2からの出力電圧を増幅する増幅回路18aと左側電極3からの出力電圧を増幅する増幅回路18bとが一つの筐体内に収納されるようにした。

請求項（抜粋）：

少なくとも右側電極と左側電極との二つの電極が真空容器内に設けられた静電型ビーム位置モニタ、この静電型ビーム位置モニタの右側電極からの出力電圧と左側電極からの出力電圧とを個別に増幅する複数の増幅回路、この複数の増幅回路からの出力を受けてビーム位置を演算するビーム位置信号処理回路を備え、前記静電型ビーム位置モニタの右側電極からの出力電圧を増幅する増幅回路と左側電極からの出力電圧を増幅する増幅回路とが一つの筐体内に収納されたことを特徴とするビーム位置測定システム。

IPC (3件)：

G21K 5/04 ,  G01T 1/29 ,  H01J 37/04

FI (3件)：

G21K 5/04 C ,  G01T 1/29 A ,  H01J 37/04 A

Fターム (22件)：

2G088EE30 ,  2G088FF14 ,  2G088GG25 ,  2G088GG30 ,  2G088JJ01 ,  2G088JJ09 ,  2G088JJ22 ,  2G088JJ23 ,  2G088JJ31 ,  2G088JJ36 ,  2G088JJ37 ,  2G088KK05 ,  2G088KK06 ,  2G088KK18 ,  2G088KK27 ,  2G088KK29 ,  2G088KK35 ,  2G088LL15 ,  2G088LL21 ,  2G088LL28 ,  5C030AA01 ,  5C030AB06