特許
J-GLOBAL ID：200903036579057106
X線スペクトルによる定量分析方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
竹本 松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-079302
公開番号（公開出願番号）：特開平11-271244
出願日： 1998年03月26日
公開日（公表日）： 1999年10月05日
要約：
【要約】【課題】 X線スペクトルによる定量分析方法において、正確な波形フィッティングによって定量誤差を減少させる。【解決手段】 未知試料のX線スペクトルに対して標準試料のX線スペクトルを波形フィッティングして未知試料の定量分析を行う定量分析方法において、少なくとも未知試料のX線スペクトルについて、波長毎にX線吸収によるX線強度の減衰を補正して補正X線スペクトルを求め、補正X線スペクトルを用いた波形フィッティングにより元素毎のX線スペクトルを求め、元素毎のX線スペクトルに対して定量補正を行う。これによって、測定したX線スペクトルをそのまま用いて波形フィッティングを行うのではなく、X線スペクトルの自己吸収による影響を補正した補正X線スペクトルを求め、この補正X線スペクトルを用いて波形フィッティングを行うことによって、X線の自己吸収による影響を除去した正確な定量分析を行う。
請求項（抜粋）：
未知試料のX線スペクトルに対して標準試料のX線スペクトルを波形フィッティングして未知試料の定量分析を行う定量分析方法において、少なくとも未知試料のX線スペクトルについて、波長毎にX線吸収によるX線強度の減衰を吸収補正して補正X線スペクトルを求め、補正X線スペクトルを用いた波形フィッティングにより元素毎のX線スペクトルを求め、前記元素毎のX線スペクトルに対して定量補正を行う、X線スペクトルによる定量分析方法。
IPC (3件)：
G01N 23/22
, G01N 23/223
, G01N 23/225
G01N 23/22
, G01N 23/223
, G01N 23/225
