特許
J-GLOBAL ID：200903036593231747
単結晶引き上げ用種結晶及び該種結晶を用いた単結晶の引き上げ方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-043764
公開番号（公開出願番号）：特開平9-235186
出願日： 1996年02月29日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：
【要約】【課題】 従来の単結晶の引き上げ方法においては、種結晶を溶融液に着液させた際に導入される転位を排除するために、径を細くしたネックを形成していた。しかし、直径が12インチ程度と大口径で、大重量の単結晶を引き上げようとすると、単結晶を支持することができず、落下が発生していた。また、落下を防止するためにネックの直径を太くすると、転位を排除することができず、単結晶に転位が伝播するという課題があった。【解決手段】 胴体部15aが円柱形状で、先端部15bが円錐形状の種結晶15を使用し、種結晶15の先端部15bを溶融液13に着液させる時に、先端部15bがほぼ溶融液13の温度になるようにして転位の導入を阻止し、先端部15bの一部を溶かし込んだ後、ネックを形成せずに単結晶を引き上げる。
請求項（抜粋）：
円柱形状の胴体部と円錐形状の先端部とを有することを特徴とする単結晶引き上げ用種結晶。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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